真空計(jì)的定義及分類

力式真空計(jì)：基于力平衡原理測(cè)量真空度。

麥?zhǔn)秸婵沼?jì)：基于壓縮作用原理，將被測(cè)真空系統(tǒng)中的氣體進(jìn)行壓縮，通過(guò)測(cè)量壓縮后的壓力來(lái)計(jì)算原始真空度。

熱導(dǎo)式真空計(jì)：基于氣體熱傳導(dǎo)原理，包括電阻式真空計(jì)和熱電偶式真空計(jì)，通過(guò)測(cè)量氣體分子熱傳導(dǎo)導(dǎo)致的溫度或電阻變化來(lái)間接測(cè)量壓力。

電離式真空計(jì)：基于電離作用原理，分為熱陰極式真空計(jì)和冷陰極式真空計(jì)，通過(guò)測(cè)量氣體分子電離產(chǎn)生的離子流來(lái)確定真空度。

絕對(duì)真空計(jì)：能從其本身測(cè)得的物理量，如液柱高度、工作液比重等，直接計(jì)算出氣體壓力，測(cè)量精度較高，主要用作基準(zhǔn)量具，如 U 形管真空計(jì)、壓縮式真空計(jì)等。

相對(duì)真空計(jì)：主要利用氣體在低壓力下的某些物理特性，如熱傳導(dǎo)、電離、粘滯性和應(yīng)變等與壓力的關(guān)系間接測(cè)量，測(cè)量精度較低，且測(cè)量結(jié)果與被測(cè)氣體種類和成分有關(guān)，使用前需用絕對(duì)真空計(jì)標(biāo)定和校準(zhǔn)，實(shí)際應(yīng)用中占絕大多數(shù)，如電阻真空計(jì)、冷熱陰極電離真空計(jì)等。

按刻度方法分類

按測(cè)量原理分類