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核心原理:利用流體靜力學中的力平衡原理,通過液柱高度差反映壓力差。
具體過程:
U 形玻璃管內(nèi)充有汞、油等低蒸氣壓工作液,一端連接被測真空系統(tǒng),另一端通大氣或抽成真空。
當被測系統(tǒng)壓力與另一端壓力存在差異時,液柱會產(chǎn)生高度差(Δh)。
根據(jù)流體靜力學公式 P=ρgΔh(其中ρ為工作液密度,g為重力加速度),通過液柱差即可直接計算被測壓力。
適用范圍:主要用于測量粗真空(10?~102 Pa)和低真空(102~10?1 Pa)。
核心原理:基于玻意耳定律(一定質(zhì)量氣體,溫度不變時,壓強與體積成反比),通過壓縮氣體放大壓力信號實現(xiàn)測量。
規(guī)管與被測真空系統(tǒng)連接,內(nèi)部封存一定體積(V)的被測氣體。
推動汞柱上升,將氣體壓縮至毛細管內(nèi)的小體積(v),此時壓縮后的氣體壓力可通過汞柱高度差(h)直接讀出(相當于大氣壓與壓縮后壓力的差值)。
根據(jù)玻意耳定律 P?V=p?v(P為原始壓力,p為壓縮后壓力),計算得出原始真空度 P=Vp?v。
適用范圍:測量低真空至高真空(10?1~10?? Pa),是高精度絕對真空計。
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